常见真空泵性能比较

螺杆真空泵

爪式真空泵

水环真空泵

往复真空泵

真空度

高

（5-50Pa）

高

（5-50Pa）

低

（3300Pa）

低

（3300Pa）

功率消耗

低（转子间无接触）

低（转子间无接触，但是隔板对流程气的扰动会增加功率消耗的波动性）

高（一般效率为30%，最高50%）

中（滑动摩擦额外消耗功率）

内部结构

结构简单，主要由一对转子及泵体组成。转子与轴为一次性加工成型，无积累误差，间隙控制简单。

结构复杂，四对转子，三个级间隔板及泵体。转子与轴分别加工，存在积累误差，为了便于装配和拆卸，转子与轴不能采用过盈配合，易出现滚键和转子松动现象

结构简单，一个转子及泵体

结构复杂程度中，连杆与气缸间为滑动密封，可靠性低。活塞环与缸体为滑动摩擦，磨损严重，摩擦热量高，寿命低。进排气阀频繁开启，更换频率高

真空度

稳定性

真空度稳定，不受环境温度影响

真空度稳定，不受环境温度影响

真空度受工作液温度影响大

真空度受活塞环摩擦程度影响

正常工作

范围

工作范围广，可从大气压到极限真空连续工作

在大气压附件工作容易产生过压缩，导致电机过载，所以需要配置变频器，真空度提高到一定程度后才可正常运行

抽速范围窄，在极限压力附近抽速极速下降，并能产生汽蚀

在-0.08MPa到大气压范围内，功率消耗很大，容易产生过载

背压承受度

可承受相对较大的背压

对背压特别敏感

可承受一定背压

对背压特别敏感

对工艺气体适应性

排气通道简单流畅，气体流速快，所以对含粉尘、冷凝液气体耐受性高，容易排除。

由于存在级间隔板，排气通道复杂，对流程气体扰动大，工艺气体在泵内容易发生物理（冷凝）和化学（聚合）变化，粉尘、积液容易产生积存，影响泵的正常运转。另外，级间隔板对流程气体的扰动，会导致泵的负荷波动，降低泵的寿命

排气通道简单流畅，如果不考虑工艺气体对水的污染和对泵的腐蚀，几乎可以抽取任何气体

对工艺气忍受性相对较差。1、活塞环与缸体滑动摩擦，不可抽取含粉尘气体。2、可凝性气体含量大容易造成顶缸。3、工艺气体在常压、高温情况下为粘稠状或容易产生积碳现象，进/排气阀损坏严重。

在线清洗

及吹扫

可在正常运转状态下吸入溶剂、N2等对泵腔进行清洗、吹扫

清洗、吹扫工作要在降低泵的转速下进行。

不需要清洗吹扫

禁止进行在线清洗，否则容易顶缸，N2吹扫最好在降低转速情况下进行

现场维修

内部结构简单

轴与转子为一体加工，装配间隙少，

现场维修容易

结构复杂

需要调整的间隙多：四对转子间每对都要调整间隙，每个转子与级间隔板需要调整间隙，每个转子与泵体需要调整间隙，任何一个间隙调整不合理，泵都不能正常旋转；转子内孔与轴存在加工积累误差，更增加了间隙调整的难度。现场维修非常困难

内部结构简单，

现场维修容易

1、现场更换进排气阀简单，但是某些工艺场合更换频率高；

2、活塞与缸体调整间隙简单；

3、曲轴铜瓦研磨需要有一定经验。

冷却水消耗及污染

冷却水消耗小，

且不污染

冷却水消耗小，

且不污染

冷却水同时又是工作液，消耗量大，有污染

冷却水消耗量稍大（除压缩热外还有滑动摩擦产生热量），不污染

故障率

低：除一对齿轮外，真空泵没有其他金属摩擦；排气通道短而顺畅，所以寿命长

稍高：转子与轴容易松动，或产生滚键；排气通道长而复杂，容易有积液、积碳和粉尘存留

低：无机械摩擦，工作液的存在使得真空泵工作温度很低，所以寿命长

高：进排气阀长期频繁开启容易产生疲劳损伤，积碳等容易堵塞进排气阀；活动摩擦导致活塞环磨损较快，滑动密封寿命较低；排气冲击较大；

震动性

很小

很小

容易产生震动

震动大

耐蚀性

抽取干燥气体腐蚀可忽略不计，过流部分容易做防腐处理

级间隔板做防腐处理较难

基本靠选择合适材质耐腐蚀，由于工作液的冲刷，涂层防腐不理想

滑动摩擦导致涂层防腐不可行，只能选择材质

备品备件

少

少

很少

多

污水排放

无

无

有

无

尾气回收

容易回收

容易回收，要控制背压

难度大，需采用相应工作液

可以回收，要控制背压

采购成本

高

高

低

低